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与光刻加工或光束加工相提并论。
但高精度气相沉积通常使用CVD化学气相沉积法，而这一方法需要800℃以上的高温，高温可能引起基体晶粒长�
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但高精度气相沉积通常使用CVD化学气相沉积法，而这一方法需要800℃以上的高温，高温可能引起基体晶粒长�
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